洁净厂房总体设计

　洁净厂房位置的选择，应在大气含尘浓度较低，自然环境较好且无噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其*大频率风向上风侧，或全年*小频率风向下风侧；
　 在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
　 洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。回风口宜均匀布置在洁净室下部。余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。
　 各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。凡生产工艺连续、洁净室面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。

应符合下列规定；
一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器。
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置。
三、各种气体管道应设明显标志。