净化厂房是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等。
电子工厂高级别
洁净室的建造特点
电子工厂生产工艺对洁净室生产环境的要求非常严格 :电子工厂尤其是微电子和光电子产业的电子工厂,工艺生产对大面积高洁净度洁净室所要求的生产环境不仅仅有:建筑围护、结构、空气、水以及气体、溶剂等原材料,而且还有声、光、电、磁、振等各种环境。例如:建筑形式、层高承重、围护的
装修材料;空气的洁净度、温湿度、静压力;水和气体的纯度和重金属等含量以及噪声、照度、静电、电磁波、微振动等等。总的来说,微电子和光电子对生产环境的要求可用“精”、“净”、“纯”、“大”来描写。
按空气洁净设备的布置方式分:
1)全室型洁净室
这种洁净室一般利用集中式净化空调系统,向全室送风,使整个房间获得相同的等级,类似与一般空调工程中的集中式空调系统
2)局部型洁净室
利用局部净化装置,在洁净室局部工艺有专门需要的地方提供洁净空气,使局部区域获得要求的洁净度。
3)结合型洁净室
为降低造价和运行费用,用集中式净化空调系统使洁净室整体保证一定的洁净度,而在关键工艺区域采用局部洁净设施。现代洁净室大多采用这种形式,以经济灵活地满足各种使用要求