产品介绍
在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，为了能更全面、更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量，表面三维微观形貌的测量就越来越重要。非接触式光学三维轮廓测量仪是利用白光干涉扫描技术为基础，用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。
中图仪器三维轮廓测量仪厂家生产的光学三维轮廓测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1％，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
产品参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可测样品反射率：0.05％-100％
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3％，重复性0.08％ 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
产品功能
1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具备word、excel等数据报表导出功能。
中图仪器三维轮廓测量仪厂家推出的SuperView W1让轮廓测量价格更为实惠，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求极高的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。
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