HFS4001小流量气体质量流量
传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统
流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
产品特点：
•传感器灵敏度高，有极小的始动流量
•传感器芯片采用热质量
流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
•在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
•输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
•零点稳定度高
•全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
•低功耗、低压损
•响应速度快
