CINDBEST CT-6|6~12 非真空高低温探针台测试系统
特点/应用
◆ *大可用于12英寸以内样品测试
◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量
◆ 可升降调节适合加装探针卡
◆ 可搭配多种类型
显微镜◆ 结构模块化设计，可无缝升级
◆ 探针台可根据客户要求定制。
规格
台体：
型号:CT-6/CT-8/CT-12
样品台尺寸:6英寸/8英寸/12英寸
水平旋转 :可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程:6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸
X-Y移动精度:10微米/1微米
样品固定: 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台: U型针座平台，*多可放置6~12个探针座
平台升降: 可快速升降10mm/可微调升降10mm
背电极测试:样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
温度范围 :负80°到正400°
温控精度 :0.01°/0.1°/1°
重量:约120千克/150千克
光学系统：
显微镜类型:单筒显微镜/体式显微镜/
金相显微镜放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移动行程:水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm
光源:外置LED环形光源/同轴光源
CCD:200万像素/500万像素/1200万像素
定位器：
X-Y-Z移动行程:12mm*12mm*12mm
移动精度: 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 :磁力吸附/真空吸附
线缆:同轴线/三轴线
漏电精度: 10pA/100fA/10fA
固定探针:
弹簧固定/管状固定
接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/
接线端子针尖直径: 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
针尖材质:
钨钢/
铍铜可选附件
加热台
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件
高压测试配件
显微镜快速倾仰装置
激光系统
探针卡
夹具规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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