首页 > 仪器仪表网 > 实验室设备

深圳森东宝高低温真空探针台

  • 价格:电询
  • 产地:中国
  • 品牌:Cindbest
  • 型号:CGO-4
  • 联系:吴(女士) 18890189035
              联系我时请告知是在建材采购网看到的
  • 公司:深圳市森东宝科技有限公司
  • 产品介绍
    CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统


    特点/应用

    ◆ 2至6英寸样品台
    ◆ 高真空腔体
    ◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好
    ◆ 77K-675K高低温环境
    ◆ 兼容IV/CV/RF测试
    ◆ 外置多探针臂,移动行程大
    ◆ 经济实用,可无缝升级

    极低温测试:

    因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    高温无氧化测试:

    当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。



    ◆ 腔体规格:

    型号:CGO-2/CGO-4/CGO-6

    样品台尺寸:2英寸/4英寸/6英寸

    样品固定:弹簧压片

    观察窗口:2英寸/4英寸/6英寸

    真空度:10-6torr

    探针臂接口:4~6个探针臂接口

    其他接口:电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

    制冷方式:液氮/液氦/制冷机

    温度范围:77K到573K/4.5K到573K

    温控精度:0.1K/0.01K/0.001K

    稳定性:±1K/±0.1K/±0.01K

    外形:880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高

    重量:约100千克/120千克


    ◆ 光学系统:

    显微镜类型:单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

    放大倍率:16X-200X/20X-4000X

    移动行程:水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

    光源:外置LED环形光源/同轴光源

    CCD:200万像素/500万像素/1200万像素


    ◆ 探针臂:

    X-Y-Z移动行程:50mm*50mm*50mm

    结构:外置探针臂,真空波纹管结构

    移动精度:10微米/1微米

    线缆:同轴线/三轴线/射频线

    漏电精度:10pA/100fA/10fA

    固定探针:弹簧固定/管状固定

    接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

    频率支持:DC-67GHZ

    针尖直径:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米


    ◆ 其他组件:

    真空组件:分子泵组/机械泵/离子泵

    冷源组件:50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机


    ◆ 可选附件

    超高温配件

    显示器

    转接头

    射频测试配件

    屏蔽箱

    光学平台

    镀金卡盘

    光电测试配件

    高压测试配件

    分子泵组

    激光系统

    气敏测试配件


    规格及设计如有更改,恕不另行通知。
    对该产品咨询
    咨询内容
    联系方式
    联系人 
    实验室设备相关产品
    更多实验室设备产品 >>