硅钼棒元件在不同气氛下使用温度的影响
气 氛 元件使用温度
 1700 1800
NO2,CO2,O2,Air 1700℃ 1800℃
He,Ar,Ne 1650℃ 1750℃
SO2 1600℃ 1700℃
CO,N2 1500℃ 1600℃
湿 H2 1400℃ 1500℃
干 H2 1350℃ 1450℃
硅钼棒在高温氧化气氛下,表面生成一层石英保护层防止硅钼棒继续氧化。当元件温度大于1700℃时,石英保护层熔融,元件在氧化气氛下,继续使用,石英保护层重新生成。硅钼棒不宜在400-700℃范围内长期使用,否则元件会因低温的强烈氧化作用而粉化。