水汽深冷捕集泵 Vapor Polycooler
◎应用原理
在高真空环境中都存在着一定的残余气体，
65％~95％是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，
但机械泵抽除残余气体的能力差，
时间长，而且残余气体是典型的*具副作用的污染
气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量
受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决
这类问题的上佳选择。
Vapor Polycooler的工作原理：将一个-100℃以下的低
温盘管，
放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面
的低温冷凝效应，
迅速捕集真空系统的残余气体，从而大大缩短抽
真空的时间（可缩短25％-75％的抽气时间）、获
得洁净的真空环境，提高产品的产量和
质量，获得更高的商品价值。
Vapor Polycooler是一个低温制冷系统，通过在低温表
面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高
真空阀后捕集真空腔内
的水汽，快速制冷和除霜，也用于返油*小化控制。 VPC-3500
◎产品优点
•温度可达到-120℃~-150℃。(*低可到-165℃)
•多种型号，*大制冷量可达到3500W。
•*大水汽抽速为250,000L/s，真空可达到1.5*10-12torr。
•快速捕集水汽、油蒸汽，在高真空系统中可缩短25％-75％的抽
气时间，提高真空系统生产能力约20％到100％。
•改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
•8路温度显示和监控，包括负载的入口和出口、本机内部多级制
冷、排气、冷却水等温度。
•6组安全保护，包括温度、压力、
电源相序及过载等。
•国际名牌制冷压缩机，绿色环保混合型
制冷剂，高效可靠。
•完善的自动化控制，本地、远程可选，带RS485通信．
•一台机器可带2路负载输出，满足用户的不同需求．
◎6组安全保护
•排气压力过低
•排气压力过高
•排气温度过高
•冷凝温度过高或过低
•
制冷机过载或过热
•电源相序异常
VPC系列水汽深冷泵，运用自有的核心技术，成熟的设计方案，所有机型采用单台压缩机，环保混合制冷剂，自动复叠制冷，制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。
我们提供完整的冷却方案，帮助客户减少生产费用，改进制程表现，提高工作场所安全和增加生产可靠性。可替代液氮，节约成本。在实际应用当中，根据所放的位置不同可以
分为两类：
1、低温盘管 CryoCoil
低温盘管一般安装在真空室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．低温盘管同时具备加热除霜功能，使低温盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。
2、低温挡板 CryoBaffle
安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。
◎基本应用
•在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
型号 单位 VPC-200 VPC-500 VPC-1200 VPC-1800 VPC-3500 VPC-1200LT
制冷量 W 200 500 1200 1800 3500 420
工作温度 ℃ -90~-135 90~-135 -100~-145 -100~-145 -100~-145 -120~-165
水汽补集速度 I/sec 12000 52000 74000 104000 250000 37250
极限真空度 torr 2×10-9 2×10-9 2×10-9 2×10-9 1.5×10-8 4×10-12
低温盘管面积 m2 0.1 0.3 0.5 1.0 2.0 0.25
低温盘管外径 mm ф8 ф10 ф12 ф16 ф16 ф10
低温盘管长度 m 4 10 12 14 40 8
预冷时间 min ≤30 ≤40 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40
除霜时间 min N/A ≤4 ≤4 ≤4 ≤4 ≤4
冷却方式 风冷（环境温度5-35℃） 水 冷 （水 温 t ≤30 ℃）
冷却水接口 inch N/A 1/2 1/2 3/4 1/2
电源要求 V/P/Hz
kW 220/1/50
1.2 380/3/50
4.5 380/3/50
6.5 380/3/50
8.5 380/3/50
11.6 380/3/50
11.2
外形尺寸 Wmm
Dmm
H mm 500
520
980 600
620
1250 750
900
1650 750
920
1650 920
750
1700 750
920
1750
•根据需要，低温盘管和低温挡板，可以分别安装．也可以同时安装。
•根据需要，客户可以定制不同形状的低温盘管和低温挡板。
