大功率半自动探针台
型号 SHCV-6-Auto SHCV-8-Auto SHCV-12-Auto
外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm
重量 180KG 250KG 380KG
电力需求 AC220V,50~60HZ
Chuck 尺寸 6inch 8inch 12inch
X-Y轴行程 6*6inch 8*8inch 12*12inch
X-Y轴移动解析度 0.04um/0.1um
X-Y轴重复定位精度 ±1um
移动速度 ≥ 50 mm/sec
Z轴行程 10mm
Z轴移动解析度 0.1um
Z轴重复定位精度 ±1um
Theta角度行程 ±15°
Theta角度解析度 0.0003°
光栅尺 带光栅尺
样品固定方式 多孔真空吸附，独立分区控制
切换样品功能 样品台快速拉出
结构 同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用
针座平台 规格 O型平台，*多可放置8个针座 O型平台，*多可放置10个针座 O型平台，*多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um
控制方式 手动控制盒（可选择带操纵杆）
软件控制
软件功能 wafer map的编辑
仪器的接入
数据的采集和图像化显示
数据的分析
差异数据的标定Ink mark
自定义Bin分
自动测试
通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等
大功率规格 配置 大功率kelvin样品台
大功率
夹具线缆
mult-pin 分流探针
大功率保护模块（针座用）
保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁
大功率仪器连接模块
*大测试电压 10KV
*大测试电流 500A（脉冲）
光学特性
显微镜行程 2*2inch
显微镜行程 1um
放大倍数 20-4000X
CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格 点针精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm
漏电精度 10pA/100fA
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口
温控特性 温度范围 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃
温控精度 温度分辨率 ： 0.01°C
加热
电源 LVDC 低压直流
*低控温速率 ±0.1°C /小时
传感器 Pt100
制冷方式 液氮制冷
减震 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
可选附件 chuck快速拉出装置
显微镜倾仰装置
激光修复
探针卡夹具
光强/波长测试接口部件
加热台
高低温样品台（-80~200℃）
防震桌
射频测试
PCB板夹具
液晶热点侦测套装
屏蔽箱
卡盘镀金
运用方向 晶圆测试，功率器件测试
特点：
SiC/GaN晶圆测试 超高的测试精度
大功率晶圆测试 便捷的仪器接入
（-60~200℃）高低温Chuck 半自动测试
20~4000X光学显微放大 可升级全自动测试
功能丰富的测试软件 可升级射频测试
