1、主要应用于LCD、连接器、键合前等大规模生产领域。
2、所有元器件及核心部件采用进口。
3、
真空泵采用进口旋片泵，可长时间工作，抗氧化、耐腐蚀，可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。
4、
PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控。
5、可存储50组工艺配方，随意调用。
6、清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
7、工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。
8、一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。
9、自动提醒系统维护、更换
真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。
10、气体质量
流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对
质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。
11、根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油
过滤器，过滤返油装置等。电极结构（专利申请中）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。
