该设备为在工具，刀具，模具上镀硬质或超硬
保护膜设计，真空镀室的真空密封盒室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只高效圆形电弧蒸发源，或配多哥矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的，具有优异灭闪户性能的偏压
电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性，全自动控制提高工艺稳定性。可镀制TIN,TIC,TICN,TIALN,TIALCN,TICRN,TICRCN,TIALCRN,多层超硬膜等，应用于精密模具业（冲压模具，剪切模具，标准件模具，成型模具等），工具行业（
钻头，
硬质合金，
铣刀，拉刀，丝锥和
齿轮刀具等），汽车工业（活塞，活塞环，合金轮等）
