特点
-80~200℃无霜精确控温
舒适大手柄驱动CHUCK
可以升级做射频测试
20X~4000X 光学显微放大
无后座力移动
针座平台可以快速升降便于wafer取放
规格
真空吸附型Chuck
8
不锈钢 Chuck X-Y轴行程
8 x8
Chuck 旋转角度
0~360 度
针座平台上下升降行程
6mm 通过升降杆调整
针座平台
可以放置8个针座
显微镜X-Y轴行程
2 x2
需求
电力
220 VAC, 60Hz
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜)
重 160 Kg(带显微镜)
可选附件
Chuck快速拉出装置
显微镜倾仰装置
激光修复
探针卡
夹具 加热台
高低温样品台(-80-200℃)
防震桌
显微镜暗场 / Normarski 检测
带真空底座的活动Chuck
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/
电容测试
高压测试(3KV)/大电流测试(10A)
CCD视频系统
封装器件夹具
PCB板夹具
液晶热点侦测套装
屏蔽箱
镀金Chuck
