是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列
传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统
流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
特点：
传感器灵敏度高，有极小的始动流量
传感器芯片采用热质量
流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
贴壁式安装，无直管段要求，易于安装与使用
输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)或由上位机查询输出数据(RS232 / I2C)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
零点稳定度高
全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
低功耗、低压损
响应速度快
FS5001流量传感器参数：
技术参数：
FS5001
量程范围 0～20,50,200,500,1000,或根据客户需求定制 sccm
量程比 >100：1
精度 ±（1.5±0.2FS） ％
重复性 ±0.75 ％
零点输出飘逸 ±30 mV
输出飘逸 0.16 ％/oc
响应时间 100（默认，50，100，200，500，100设置） ms
工作
电源 8~18Vdc,50mA
输出方式 RS232,I2C,模拟电压0.5~4.5Vdc
*大流量压损 900 Pa
*大流量压力 0.8 MPa
工作温度 -5~+45 oC
存储温度 -20~+55 oC
工作湿度 <95％RH(无结冰、无凝露)
机械接口 M,Rc,NPT,4mm,6mm快速
接头（配转接模块）
校准方式 空气（或其他气体），20oC,101.325kPa
重量 17.5 g
