特性:
1. 设计精密.结构坚固.重量轻.易于安装及维护.
2. 空气冷却（气冷式）.
3. 值结式驱动,可避免转动皮带及
齿轮之松弛或损耗.
4. 含高效率油雾
过滤器,不须将气体排出室外.
5. 进气口有
逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流.
6. 低震动,不需用基础螺拴固定泵浦.
7. 运转声音小.
8. 具气体压载阀,可适用於蒸气之制程.
9. 即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口完全排出,而不会在泵浦内发生凝结现象.
