设备用途：
TFT液晶模块、MASK掩膜锘板、ITO道电玻璃、高精光学透镜
棱镜清洗处理工序。
设备特点：
1.成熟的TFT/MASK BLANKS、ITO、透镜棱镜玻璃清洗工艺，德国先进技术。
2.彩色大屏幕人机界面操作，参数设置及多任务工艺方式转换方便；
3.全程自动控制、自动补液、工艺槽自动循环；充分保持液体均匀；
4.电脑
机械手自动高效工作，伺服驱动方式和圆弧插補驱动方式；
5.选用国际品牌零部件，如SMC、三菱、易威奇、OMRON、施耐德；
6.采用PID控温方式，可精确控制液体温度±0.5℃；
7.高温高效过滤系统，避免二次污染；
8.采用40KHZ、68KHZ、80KHZ、135KHZ、170KHZ多频清洗工艺；
9.采用
不锈钢或德国PVC塑包*新技术，全面完善的防腐措施，机器整洁美观。
