内含氟之橡胶，依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各种类型。目前广用的六氟化系
氟橡胶*早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高温性优于
硅橡胶，有很好的耐化学性、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性则较不良，一般使用温度
优点：
? 可抗热至 250 ℃
? 对于大部份油品及溶剂都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油
? *佳耐热特性
? 优异的抗化学特性
? 低Outgassing 特性
? 优异之抗Plasma特性
适用范围:
广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
