优点：
1. 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘
4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般
电源6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准介面介面：RS-485 以及远端控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TüV 认证
适用领域：
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
