适合振动应用。每个微型，密封包装结合了微加工
电容传感元件和定制的集成电路，其包括读出
放大器和差分输出阶段。它是不受温度变化和梯度。
工作环境：
工作温度：-40~85℃
存储温度: -40~120℃
VDD到GND电压: -0.5V~6.5V
任何引脚（除DV）到GND电压:0.5V to VDD+0.5V
DV和GND之间电压： ±15V
*大功耗：20mW
操作 ：
型号1510产生两路模拟输出电压，它随着加速度改变，如图所示。两个基准电压，5.0和2.5伏（标称值），是必需的;输出比例因子比例为+5伏参考电压和两个输出零加速表面上是+2.5伏。敏感轴以正加速度定义为力垂直于封装的底部。
传感器性能：（数据为5V供电，温度输出 得出）
性能 -005 -010 -025 -050 -100 单位
输入量程 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 g
频率响应（3dB） 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 Hz
灵敏度（差分输出） 800 400 160 80 40 mV/g
输出噪声（差分模式，典型值） 32 63 158 316 632 μg/root HZ
可承受*大冲击（0.1ms） 2000 5000 g
传感器性能：（除注明外，数据为5V供电，温度输出 ，差分模式得出）Z
性能参数 *小值 典型值 *大值 单位
横轴灵敏度 3 ％
偏置标定误差 差分 -1 1 满量程的％
偏置标定误差 单端 -0.15 0.15
偏置温漂TC=-40~ -200 200 PPM％满量程/℃
标定误差比例因子 -1.5 1.5 ％
温漂比例因子TC=-55~ -300 300 Ppm/ ℃
长期偏置稳定性 1000 2000 PPM满量程
非线性
（±90％满量程） 1.0 满量程的％
输出阻抗 90 DB
供电电压 4.75 5.0 5.25 V
功耗 6 8 mA
质量（L型） 0.62 克
