超纯水设备是
反渗透设备跟离子交换混床或EDI相结合配套使用，离子交换混床是通过
离子交换树脂在电解质溶液中进行，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制造高纯水工艺流程中 不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子与交换中中的阳树脂的H+离子和阴树脂中的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求。
EDI技术是国际上20世纪90年代开始逐渐发展起来的新型纯水、超纯水制取技术。该技术巧妙地将电渗技术和离子交换技术相融合，通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，同时水电离解的氢离子和氢氧根离子交换树脂再生，因此不需酸碱化学再生而能连续制取超纯水。
