专业用于金属电镀镀层分析；同时可分析镀层中的合金成分比列。
多镀层，1～6层
测试精度：0.01 um
多次测量重复性误差<0.1％
元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
测量时间：10-60秒
Si-PIN探测器，能量分辨率为149电子伏特
微焦X射线管50KV/1mA，钨靶，
焦斑尺寸 75um, 寿命大于3万小时
7个准直器及6个滤光片自动切换
XYZ三维移动平台，*大荷载为5公斤
高清CCD
摄像头，精确监控位置
多变量非线性去卷积曲线拟合
高性能FP/MLSQ分析
平台移动范围 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm
