应用
• 半导体制程
• 真空蒸馏
• 真空包装
• 钢脱气
• 薄膜覆层
• 真空冶金
• 低密度风洞
• 空间模拟
• 真空浸渍
• 油干燥和脱气
• 制药冷冻干燥
• CO2 激光
功能和优势
• 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3Min-1 的高抽速的应用场合。
• 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
• EH 泵具有高质量的无
油泵送机械装置。这可提供：
o 安静的无振动运行。
o 牢靠且防腐蚀。
o 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
• 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
• 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通
管道及阀门，因此可将维护要求降到*低。
• 轴封的设计经过优化，可确保
润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要*高标准清洁程度的应用中保持
增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
• 动态平衡的转子和精密研磨
齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
技术数据
型号 EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200
排量（工作容积） 310 m3h-1 / 185 ft3Min-1 505 m3h-1 / 300 ft3Min-1 1195 m3h-1 / 715 ft3Min-1 2590 m3h-1 / 1525 ft3Min-1 4140 m3h-1 / 2440 ft3Min-1
使用前级泵时的有效抽速 240 m3h-1 / 141 ft3Min-1 350 m3h-1 / 206 ft3Min-1 840 m3h-1 / 495 ft3Min-1 1750 m3h-1 / 1031 ft3Min-1 3100 m3h-1 / 1825 ft3Min-1
泵的压力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250
出口连接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100
转速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm
连续进气口工作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr
*大出口压力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr
*的前级泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80，E2M80 GV160、GV250、
E2M80、E2M175 GV250、GV400、
E2M175、E2M275 GV400、E2M275
电机功率
碳氢化合物 2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp
PFPE 1.5 kW / 2 hp 1.5 kW/2 hp 3 kW/4 hp 7.5 kW/10 hp 11 kW/15 hp
ATEX 2.2 kW 2.2 kW 3 kW 11 kW 11 kW
防爆 3 hp 3 hp 4 hp 15 hp 15 hp
环境温度范围
工作 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F
存储 -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 1
