一、基本配置信息
1.探针台本体
* 4”、6“、8“真空吸附卡盘
* 滚珠
螺杆驱动卡盘装置
* X,Y 行程:150mm(可根据需求选择其它范围)
* 手动卡盘360度调整
*
显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)
* 卡盘平坦度:10um
2.RF 探针座 Probe Head
* RF/Active Probing (PicoProbe)
* 外型尺寸:110 x 125mm
* X,Y行程:25mm
* Z行程:16mm
* 精度:3um
* 仰角调节装置
* 吸附方式:磁开关吸附(真空吸附可选)
3.高倍率显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)
* 放大倍率 1X-500X
注:可选更高倍率物镜,如:100X物镜,即总倍率1000X
* 光源光纤传导:1.5m
*
卤素灯光源:100W或更高
* CCD C-mount国际标准接口
* 目镜:WF10X/24,视场直径 24mm,独立矫正色差
* 物镜:10X , 20X, 50X,100X
* 双目头:瞳距调节范围55~75mm
* 上主体:分光比为50:50或0:100
* 管镜:1X NUV/VIS
* 齐焦距离: 95mm;
* 调焦机构:调焦行程: 52mm
* 粗动手轮4mm/转
* 微动手轮0.1mm/转
* 微动手轮 1μm/格
* *大承载重量: 45磅(20.4Kg)
4.CCD 相机
* 包括图像采集卡等
5.探针
夹具及
电缆线(根据测量需求不同可选其它配置)
* HF Prober Arm 高频探针杆
HF probe arm (east-west)
HF probe arm(north - south)
40 GHz , 24 length(长度) , male connector(插头连接)
50 GHz , 36 ength(长度) , male connector(插头连接)
6.探针 Probe Tip(可选项)
* 40 GHz GSG HF tip (BeCu)
* 40 GHz GSG HF tip (W)
7.
真空泵 8.屏蔽箱
9.防振桌
10.适配器
11.转
接头12.电学测试设备
二、探针座(Prober Head)选择,可选:直流、高频、微/大电流、高功率、高电压等… 
说明:针对于探针台的选型,根据用户测试样品、测试环境、应用类别、产品级别以及操作方试可分为:
1)按测试样品分类,可分为:晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能
电池片测试、材料表面电阻率测试、纳米器件测试,
2)按应用分类可分为:射频测试、高温环境测试、低温真空测试、低电流(fA 级)测试I-v/c-v/p-iv测试、高压、大电流测试、特殊气体环境测试、磁场环境测试、辐射环境测试、双面点针测试探针台
3)按级别分类可分为:标准型、研究型、经济型、简配型
4)按操作方式可分为:手动型、半自动型、全自动型
因每个用户使用需求不同,可提供不同的配置,包括:光学显微镜、探针座、探针夹具、电缆线,探针,卡盘尺寸及卡盘功能的选择、平台行程、主体结构,真空或低温环境组件等配置;