一、基本配置信息：
1.探针台本体：
* Analysis 6 Probe Station(分析型6探针台)(可选8”、12”)
* 6 vacuum chuck（6真空卡盘）)(可选8”、12”)
* Ball screw drived chuck stage （滚珠
丝杆精密调节平台）
* Chuck stage travel X,Y 150mm （卡盘平台X，Y行程150mm）
根据需求行程可选200mm(APS 200型)或其它
* Manual chuck theta adjustment （手动卡盘旋转调整）精度：+/-0.1度（旋转）
* Chuck up-down 5mm (卡盘升降5mm行程)
升降台调节精度：15度，；4mm，+/-1um（垂直）
* Microscope stage travel X,Y 25mm（
显微镜载物台X，Y行程25毫米）。调节精度：+/-1um
2.探针座：DC Probe Head 探针座(可选其它精度探针座及RF高频探针座)
* Foot dimension(底部尺寸) 70 x 35mm
* Travel range(X,Y轴行程范围) 12mm
* Travel range(Z轴行程范围) 12mm
* Feature Resolution(精度) 3um
* Vacuum base(磁吸附)
注：磁吸附系配置*新设计开关磁吸装置；可选择真空吸附；
仰角裝置，可对夹持的探针进行仰角角度的调节；
3. 显微镜： Stereo type系列连续变倍
体视显微镜 * Eyepiece (目镜) 20X ~ 2 pcs
* Zoom(变倍率) : 0.65X to 4.5X
* Total Mag（总倍率） :10X to 300X
* Working distance（工作距离） : 96mm
* 附加物镜: 0.5X, 1.5X, 2X
* 环型接口＋环形
荧光灯8W
* 照相接口、CCD接口、数码相机接口
4. CCD：C-MOS camera 1/2 300万像素
二、规格：
组件/型号 APS 150 APS 200
真空吸附卡盘 150mm
不锈钢 200mm 不锈钢
主体平台XY移动行程 149mm*150mm 199mm*200mm
旋转角度 0-30O 0-30O
Z轴行程 5mm 5mm
显微镜平台移动行程 25mm*25mm 25mm*25mm
探针台本体 固定式 固定式
样品尺寸 5*5至150mm 5*5至200mm
真空卡盘平坦度 10um 10um
尺寸 580*460*700（mm） 660*660*700（mm）
重量 60kg 80kg
三、可选项：
* 各类光学显微镜
* 真空吸附卡盘
* 加热卡盘
* 客户定制移动平台
* 高频探针、
电缆线* 低电流/
电容量测
* 高电压量测
* CCD 相机
* 探针
夹具* 探针
*
真空泵 * 屏蔽箱
* 防振桌
* 适配器
* 转
接头* 电学测试设备
四、探针座(Prober Head)选择，可选：直流、高频、微/大电流、高功率、高电压等…
说明：针对于探针台的选型，根据用户测试样品、测试环境、应用类别、产品级别以及操作方试可分为：
1)按测试样品分类，可分为：晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能
电池片测试、材料表面电阻率测试、纳米器件测试，
2)按应用分类可分为：射频测试、高温环境测试、低温真空测试、低电流（fA 级）测试I-v/c-v/p-iv测试、高压、大电流测试、特殊气体环境测试、磁场环境测试、辐射环境测试、双面点针测试探针台
3）按级别分类可分为：标准型、研究型、经济型、简配型
4）按操作方式可分为：手动型、半自动型、全自动型
因每个用户使用需求不同，可提供不同的配置，包括：光学显微镜、探针座、探针夹具、电缆线，探针，卡盘尺寸及卡盘功能的选择、平台行程、主体结构，真空或低温环境组件等配置；
