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亿思强供SVCOR PVA清洗刷

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  • 公司:苏州亿思强机电设备有限公司
  • 产品介绍
    SVCOR™-PVA brush 专为化学机械抛光(CMP)后晶圆的清洗提供世界顶尖的海绵刷产品

    一改以往的淀粉致孔法或气体起泡法制备PVA海绵的工艺,采用公司独有的专利技术,使PVA微孔材料的性能与结构实现质的改变,以更好地满足半导体制程晶圆清洗的要求,提高产品的成品率。
    表面均匀微孔结构的设计,使清洗液的渗出更均匀,清洗更全面;
    粗实的连体孔支架结构使材料能经受不断反复的滚动、磨擦而不磨损,有效地提高海绵刷的使用寿命;
    更细微孔径(20μm)的设计能控制来自内芯流体的透过速率,并维持一定的压力差,能防止因流体的倒吸而产生的粘粒现象,保证晶圆产品的质量。


    产品特点:

    表面均匀微孔结构的设计
    不需防霉处理,**变质
    干燥时收缩率很小,可干法保存
    可用于1-1000级无尘室
    使用寿命长
    SVCOR™ PVA brush与其它海绵刷的结构比较

         

    SVCOR™-PVA 的凸节表面结构         淀粉成孔法的凸节表面结构

         

    SVCOR™-PVA 的截面结构            淀粉成孔法的材料内部结构



    SVCOR™ PVA 清洗刷规格(单位:mm)
    编号 外径 外径(圆柱体) 内径 *大长度
    1 32 25 12 250
    2 38 31 18 350
    3 48 40 26 350
    4 60 51 32 350
    5 70 60 32 350
    6 76 67 26 500
    7 89 77 26 500
    8 106 94 60 500


    注:SVCOR™-PVA brush产品的技术优势还体现在其不需防霉处理,**变质,且因其干燥时收缩率很小,可干法保存。

    SVCOR™-PVA brush适合于AMT Reflexion、 Low K、Ebara F*Rex、DNS和OnTrak等半导体清洗设备。 (我公司是此产品的区域代理商 如需购买咨询或定制PVA清洗刷请致电客户经理:陈建华,联系电话:13506134129)
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